9.5静电防护及接地

9.5.1洁净厂房应根据工艺生产要求设静电防护措施。

9.5.2地面的面只应能应付合下列要求：

1.地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。

2.地面的表层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻宰应为1.0×10E5～1.0×10E12Ω或体积电阻率为1.0×10E4~1.0×10E11Ω•cm。

3.地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0×10E3~1.0×10EΩ

9.5.3沽净室的净化空调系统，应采取防静电接地措施。

9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装量设计规范》(GB 50058)的有关规定。

9.5.5防静电接地系统，应分别不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格，或闭合的接地铜排环。铜排截面不应小于100mm2，防静电接地引线应从等电位的接地网格或闭合铜排环上就近接地连接，接地引线应使用多股铜线，导线截面不应小于1.5mm2。防静电接地系统在接入大地前应设置等电位的防静电接地基准板，从基准板上引出接地主干线，其铜导体截面不应小于95mm，并应采用缘屏蔽电缆。接地主干线应与设置在防静电区域内的接地网格或闭合铜排环连接.在防静电接地系统各个连接部位之间电阻应小于0.1Ω。

9.5.6洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独给缘数设，并应使用给缘屏蔽电缆。直流工作接地的基准电位应取自总等位铜排，接地导线与铜拌做单点连接。主干线截面不应小于95mm，支干线截面不应小于35mm2.

9.5.7接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》